Исследование кристаллизации автоэпитаксиальных слоев кремния в присутствии примеси фосфора

  • 02.00.00 Химия

АН СССР. Сиб. отд-ние. Объедин. учен. совет по хим. наукам, Ташкент

162 стр.

Исследование кристаллизации автоэпитаксиальных слоев кремния в присутствии примеси фосфора — Харченко, Валерий Владимирович — 1968 — Российская библиотека диссертаций