Исследование кварцевого датчика и разработка технологического оборудования для автоматизированного контроля толщины и скорости роста пленок

Москва

21 стр.

Исследование кварцевого датчика и разработка технологического оборудования для автоматизированного контроля толщины и скорости роста пленок — Николаев, В. Т. — 1971 — Российская библиотека диссертаций