Исследование механизма и кинетики процесса получения эпитаксиальных слоев полупроводников сэндвич методом

  • 05.00.00 Техника

Моск. ин-т стали и сплавов, Москва

172 стр.

Исследование механизма и кинетики процесса получения эпитаксиальных слоев полупроводников сэндвич методом — Коротков, Александр Сергеевич — 1968 — Российская библиотека диссертаций