Исследование механизма работы возобновляемых электретных фильтров для создания систем очистки воздуха высокого класса для микроэлектронной промышленности

ФГАОУ ВО «Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)» ; Диссовет ФЭФМ.1.3.17.003, Московская обл.

Исследование механизма работы возобновляемых электретных фильтров для создания систем очистки воздуха высокого класса для микроэлектронной промышленности — Першин, Николай Алексеевич — 2026 — Российская библиотека диссертаций