Исследование механизмов формирования магнетронных наноразмерных пленок из алюминия на поверхности ситалла

ФГБОУ ВО «Юго-Западный государственный университет», Курск

100 стр.

Ключевые слова

металлические магнетронные нанопленки, магнетронное распыление на керамическую подложку, микроэлектроника устройства

Исследование механизмов формирования магнетронных наноразмерных пленок из алюминия на поверхности ситалла — Лин Ко Ко — 2020 — Российская библиотека диссертаций