Исследование механизмов формирования магнетронных наноразмерных пленок из алюминия на поверхности ситалла
Ключевые слова
металлические магнетронные нанопленки, магнетронное распыление на керамическую подложку, микроэлектроника устройства
металлические магнетронные нанопленки, магнетронное распыление на керамическую подложку, микроэлектроника устройства