Исследование начальных стадий роста автоэпитаксиальных слоев кремния из молекулярного пучка в вакууме

  • 01.00.00 Физика и математика

Моск. ин-т стали и сплавов, Москва

88 стр.

Исследование начальных стадий роста автоэпитаксиальных слоев кремния из молекулярного пучка в вакууме — Тажибаева, Саида Даулетбаевна — 1969 — Российская библиотека диссертаций