Исследование некоторых ионно-плазменных методов получения диэлектрических пленок

  • 05.00.00 Техника

Томский политехн. ин-т им. С. М. Кирова, Томск

179 стр.

Исследование некоторых ионно-плазменных методов получения диэлектрических пленок — Данилина, Тамара Ивановна — 1970 — Российская библиотека диссертаций