Исследование окисных диэлектрических пленок, полученных методом пироактивации

  • 05.00.00 Техника

Рязан. радиотехн. ин-т, Рязань

209 стр.

Исследование окисных диэлектрических пленок, полученных методом пироактивации — Лященко, Галина Александровна — 1972 — Российская библиотека диссертаций