Исследование осаждения металлов из частично ионизированного потока в вакууме

  • 05.00.00 Техника

Иван. хим.-технол. ин-т, Иваново

123 стр.

Исследование осаждения металлов из частично ионизированного потока в вакууме — Ильин, Борис Николаевич — 1971 — Российская библиотека диссертаций