Обложка работы «Исследование параметров плазмы и выходного ионного потока бессеточных ионных источников для ионно-плазменной обработки поверхности». Автор: Манегин, Денис Сергеевич. Степень: Канд. наук. Год: 2025

Исследование параметров плазмы и выходного ионного потока бессеточных ионных источников для ионно-плазменной обработки поверхности

Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) ; Диссовет 24.2.331.17 (Д 212.141.XX), Москва

149 стр.

Исследование параметров плазмы и выходного ионного потока бессеточных ионных источников для ионно-плазменной обработки поверхности — Манегин, Денис Сергеевич — 2025 — Российская библиотека диссертаций