Исследование пробоя пленки моноокиси кремния в системе Al - SiO - Al

  • 05.00.00 Техника

Том. политехн. ин-т им. С. М. Кирова, Томск

197 стр.

Исследование пробоя пленки моноокиси кремния в системе Al - SiO - Al — Мухачев, Валерий Александрович — 1971 — Российская библиотека диссертаций