Исследование процесса автоэпитаксии кремния при конденсации из молекулярных пучков в вакууме

  • 05.00.00 Техника

Моск. ин-т стали и сплавов, Москва

191 стр.

Исследование процесса автоэпитаксии кремния при конденсации из молекулярных пучков в вакууме — Попов, Анатолий Васильевич — 1970 — Российская библиотека диссертаций