Исследование процесса магнетронного напыления сверхпроводниковых пленок NЬN для СВЧ устройств

Ленинград

134 стр.

Исследование процесса магнетронного напыления сверхпроводниковых пленок NЬN для СВЧ устройств — Бидзински, Ян — 1991 — Российская библиотека диссертаций