Исследование процесса осаждения электронным лучом пленок некоторых элементов и их электрических свойств

  • 05.00.00 Техника

Ин-т металлургии им. А. А. Байкова АН СССР, Москва

144 стр.

Исследование процесса осаждения электронным лучом пленок некоторых элементов и их электрических свойств — Вишняков, Борис Александрович — 1967 — Российская библиотека диссертаций