Исследование процесса осаждения и свойств эпитаксиальных слоев кремния, легированных бором

  • 05.00.00 Техника

Ленингр. политехн. ин-т им. М. И. Калинина, Ленинград

189 стр.

Исследование процесса осаждения и свойств эпитаксиальных слоев кремния, легированных бором — Сладков, Игорь Борисович — 1971 — Российская библиотека диссертаций