Исследование процесса разрезания слитков германия и кремния алмазными дисками с внутренней режущей кромкой в полупроводниковом производстве

  • 05.00.00 Техника

Моск. ин-т электронного машиностроения, Москва

299 стр.

Исследование процесса разрезания слитков германия и кремния алмазными дисками с внутренней режущей кромкой в полупроводниковом производстве — Патратьев, Андрей Григорьевич — 1966 — Российская библиотека диссертаций