Исследование процессов легирования кремния внедрением ионов 11B, 31P, 75As, 122Sb с энергией 1-10кэВ

Алма-Ата

139 стр.

Исследование процессов легирования кремния внедрением ионов 11B, 31P, 75As, 122Sb с энергией 1-10кэВ — Кусаимов, Жетен Акрамович — 1984 — Российская библиотека диссертаций