Исследование процессов получения моносилана для эпитаксиальной технологии

Кузнецов, А. И., 1972, кандидатская диссертация

Москва

23 стр.

Исследование процессов получения моносилана для эпитаксиальной технологии — Кузнецов, А. И. — 1972 — Российская библиотека диссертаций