Исследование систем автоматического управления технологическими процессами изготовления пленочных микросхем электронных вычислительных машин

  • 05.00.00 Техника

Моск. ин-т электронного машиностроения, [Москва]

175 стр.

Исследование систем автоматического управления технологическими процессами изготовления пленочных микросхем электронных вычислительных машин — Шихаев, Кирилл Николаевич — 1964 — Российская библиотека диссертаций