Исследование структуры и электрофизических свойств пленок окислов редкоземельных металлов с целью использования их в микроэлектронике

  • 05.00.00 Техника

Таганрог. радиотехн. ин-т, Таганрог

187 стр.

Исследование структуры и электрофизических свойств пленок окислов редкоземельных металлов с целью использования их в микроэлектронике — Заичкин, Николай Николаевич — 1972 — Российская библиотека диссертаций