Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи
Козлов, Сергей Владимирович, 1970, кандидатская диссертация
05.00.00 Техника
Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича, Ленинград
Богословский, Петр Алексеевич · Канд. наук · Московский инж.-строительный институт им. В. В. Куйбышева
05.00.00 Техника
Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи — Козлов, Сергей Владимирович — 1970 — Российская библиотека диссертаций