Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи

  • 05.00.00 Техника

Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича, Ленинград

212 стр.

Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи — Козлов, Сергей Владимирович — 1970 — Российская библиотека диссертаций