Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления

Ленинград

156 стр.

Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления — Чэкай, Дионизы — 1989 — Российская библиотека диссертаций