Исследование технологии катодного распыления тантала с автодесорбцией газовых примесей

  • 05.00.00 Техника

Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича, Ленинград

170 стр.

Исследование технологии катодного распыления тантала с автодесорбцией газовых примесей — Тупиков, Юрий Григорьевич — 1968 — Российская библиотека диссертаций