Исследование технологии выращивания слоев двуокиси кремния методом ускоренного гидротермального окисления

  • 05.12.11

Москва

25 стр.

Исследование технологии выращивания слоев двуокиси кремния методом ускоренного гидротермального окисления — Чернов, Аркадий Алексеевич — 1976 — Российская библиотека диссертаций