Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа

  • 05.14.05

АН БССР. Ин-т тепло- и массообмена, Минск

172 стр.

Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа — Любарский, Анатолий Иосифович — 1972 — Российская библиотека диссертаций