Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем

  • 05.00.00 Техника

Киевский политехн. ин-т, Таллин

224 стр.

Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем — Дудкин, Виталий Иванович — 1970 — Российская библиотека диссертаций