Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем
Дудкин, Виталий Иванович, 1970, кандидатская диссертация
Богословский, Петр Алексеевич · Канд. наук · Московский инж.-строительный институт им. В. В. Куйбышева
05.00.00 Техника
Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем — Дудкин, Виталий Иванович — 1970 — Российская библиотека диссертаций