Исследование захвата примесей эпитаксиальными слоями кремния в процессе роста и некоторые свойства твердых растворов эпислой-примесь

АН УзССР, Ташкент

154 стр.

Исследование захвата примесей эпитаксиальными слоями кремния в процессе роста и некоторые свойства твердых растворов эпислой-примесь — Маманов, Очил Адизович — 1973 — Российская библиотека диссертаций