Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации

Москва

15 стр.

Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации — Цыганков, Петр Анатольевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций