Исследования в области получения высокоомных монокристаллов кремния, легированных фосфором в атмосфере очищенного водорода

Отд-ние физ.- мат. наук Акад.наук УзССР, Москва

131 стр.

Исследования в области получения высокоомных монокристаллов кремния, легированных фосфором в атмосфере очищенного водорода — Гулямов, Марат Манапович — 1972 — Российская библиотека диссертаций