Катодное распыление полупроводников

  • 01.00.00 Физика и математика

МГУ им. М. В. Ломоносова, Москва

164 стр.

Катодное распыление полупроводников — Сиротенко, Иван Герасимович — 1962 — Российская библиотека диссертаций