Характеризация полупроводниковых материалов и структур методами оптической спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... доктора физико-математических наук : 1.3.11.

ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» ; Диссовет Д 212.238.XX (24.2.387.08), Санкт-Петербург

295 стр.

Характеризация полупроводниковых материалов и структур методами оптической спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... доктора физико-математических наук : 1.3.11. — Панов, Михаил Федорович — 2025 — Российская библиотека диссертаций