Кинетика эпитаксильного наращивания и газового травления германия и кремния

  • 01.00.00 Физика и математика

Объедин. совет Отд-ния физ.-техн. наук АН Латв. ССР, Рига

173 стр.

Кинетика эпитаксильного наращивания и газового травления германия и кремния — Лаукманис, Лаймонис Арвидович — 1968 — Российская библиотека диссертаций