Кинетика и механизм процессов окисления, хлорирования и пиролиза гидридов кремния и германия

Черноголовка

381 стр.

Кинетика и механизм процессов окисления, хлорирования и пиролиза гидридов кремния и германия — Айвазян, Рафик Грантович — 1997 — Российская библиотека диссертаций