Кинетика взаимодействия неравновесной плазмы хлора и смесей хлора с аргоном, азотом, кислородом, водородом, с кремнием, арсенидом галлия и медью

Иваново

149 стр.

Кинетика взаимодействия неравновесной плазмы хлора и смесей хлора с аргоном, азотом, кислородом, водородом, с кремнием, арсенидом галлия и медью — Овчинников, Николай Львович — 1997 — Российская библиотека диссертаций