Комбинированная методика корпускулярной диагностики и оптической эмиссионной спектроскопии для определения ионных потоков из низкотемпературной плазмы

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва

121 стр.

Ключевые слова

низкотемпературная многокомпонентная плазма, ионные потоки, плазменная модификация материалов