Комбинированная методика корпускулярной диагностики и оптической эмиссионной спектроскопии для определения ионных потоков из низкотемпературной плазмы
Ключевые слова
низкотемпературная многокомпонентная плазма, ионные потоки, плазменная модификация материалов