Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии

Москва

441 стр.

Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии — Рау, Эдуард Иванович — 1993 — Российская библиотека диссертаций