Манипулирование нанообъектами и модификация материалов с помощью сфокусированного электронного пучка для создания функциональных наноструктур

Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург

156 стр.

Ключевые слова

сфокусированные электронные пучки, сканирующий электронный микроскоп, устройства нанофотоники

Манипулирование нанообъектами и модификация материалов с помощью сфокусированного электронного пучка для создания функциональных наноструктур — Комиссаренко, Филипп Эдуардович — 2018 — Российская библиотека диссертаций