Математические модели процессов формирования наноразмерных пленок

ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)», Санкт-Петербург

295 стр.

Математические модели процессов формирования наноразмерных пленок — Чу Чонг Шы — 2019 — Российская библиотека диссертаций