Математическое моделирование диффузионного перераспределение легирующей примеси при термическом отжиге

Минск

16 стр.

Математическое моделирование диффузионного перераспределение легирующей примеси при термическом отжиге — Чеб, Елена Сергеевна — 1992 — Российская библиотека диссертаций