Математическое моделирование диффузионного перераспределения легирующих примесей при термическом отжиге

Минск

173 стр.

Математическое моделирование диффузионного перераспределения легирующих примесей при термическом отжиге — Чеб, Елена Сергеевна — 1992 — Российская библиотека диссертаций