Механическая релаксация в кремниевых гетероструктурах с плазменным покрытием : специальность 01.04.07 - Физика твердого тела

Воронеж

15 стр.

Механическая релаксация в кремниевых гетероструктурах с плазменным покрытием : специальность 01.04.07 - Физика твердого тела — Плотников, Александр Иванович — 1983 — Российская библиотека диссертаций