Механизмы поверхностных процессов при спонтанном травлении кремния атомами фтора

Ярославль

120 стр.

Механизмы поверхностных процессов при спонтанном травлении кремния атомами фтора — Бабанов, Юрий Евгеньевич — 1994 — Российская библиотека диссертаций