Механизмы поверхностных процессов при спонтанном травлении кремния атомами фтора
Бабанов, Юрий Евгеньевич, 1994, кандидатская диссертация
Ярославль
120 стр.
Другие работы по этой специальности
- Разработка и исследование схемотехнических SPICE-моделей MOSFET и JFET-транзисторов с учетом тепловых эффектов
Исмаил-Заде, Мамед Рашидович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»