Метод ионно-плазменной очистки и осаждения покрытий на детали ГТД с использованием разряда на основе эффекта полого катода

Уфа

167 стр.

Метод ионно-плазменной очистки и осаждения покрытий на детали ГТД с использованием разряда на основе эффекта полого катода — Шехтман, Семен Романович — 1999 — Российская библиотека диссертаций