Обложка работы «Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов». Автор: Шевчук, Сергей Леонидович. Степень: Канд. наук. Год: 2002

Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов

Москва

161 стр.