Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов

Москва

161 стр.

Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов — Шевчук, Сергей Леонидович — 2002 — Российская библиотека диссертаций