Методы и алгоритмы обработки результатов атомно-силовой и растровой электронной микроскопии при контроле поверхности изделий с нанометровым пространственным разрешением

«Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» ; Диссовет 24.2.387.09 (Д 212.238.XX), Санкт-Петербург