Методы управления режимами диффузионных установок и контроля качества топологий в микро и наноэлектронике
Йе Тун Тэйн, 2014, кандидатская диссертация
Нац. исслед. ун-т МИЭТ, Москва
138 стр.
Другие работы по этой специальности
- Автоматизация технологического процесса тепловой обработки заполнителя при производстве бетонной смеси на основе модифицированного серного вяжущего
Сарычев, Игорь Юрьевич · Канд. наук · Моск. автомобил.-дорож. гос. техн. ун-т (МАДИ)
- Автоматизированный контроль теплового режима газовых отражательных печей при огневом рафинировании никеля
Кирос Кабасканго Валерия Эстефания · 2022 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский горный университет»
- Применение полиномиальных кодов при организации систем функционального контроля устройств железнодорожной автоматики и телемеханики
Абдуллаев, Руслан Борисович · 2021 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Петербургский государственный университет путей сообщения Императора Александра I»
- Разработка методики автоматизированного проектирования аппаратов промышленной мойки овощей и фруктов
Буй Ван Фыонг · 2021 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
- Разработка системы управления технологическим процессом добычи высокопарафинистой нефти
Ильюшин, Юрий Валерьевич · 2021 · Докт. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»