Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах с кольцевым резонатором на анизотропном материале

ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)», Санкт-Петербург

99 стр.

Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах с кольцевым резонатором на анизотропном материале — Хиврич, Мария Александровна — 2019 — Российская библиотека диссертаций