Многослойные абсорбционные фильтры для астрономии и проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона

Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород

144 стр.

Многослойные абсорбционные фильтры для астрономии и проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона — Цыбин, Николай Николаевич — 2015 — Российская библиотека диссертаций