Моделирование процесса осаждения и разработка метода контроля градиентных пленок в процессе осаждения

Санкт-Петербург

112 стр.

Моделирование процесса осаждения и разработка метода контроля градиентных пленок в процессе осаждения — Ким Чжон Суп — 1998 — Российская библиотека диссертаций