Моделирование процессов самоорганизации наноструктур при ионном распылении поверхности полупроводников

Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль

104 стр.

Моделирование процессов самоорганизации наноструктур при ионном распылении поверхности полупроводников — Метлицкая, Алена Владимировна — 2014 — Российская библиотека диссертаций